结合，利用外加压力引起膜片变形，使其与硅芯片上的扩散栅极发生微小位移。这种位移引起扩散栅极

　　- 电容式压力变送器：电容式压力变送器通过一个可变压电极与固定压电极（基准电极）之间的电容变化来测量压力。外加压力会引起可变压电极与基准电极之间的距离变化，进而改变电容值。测得的电容变化经过放大和处理，最终转化为电信号输出。

　　- 扩散硅压力变送器通常具有较高的精度，可以达到更小的误差范围（如0.1%）。这是因为扩散硅压力变送器的制造工艺更加精细，硅芯片具有优良的机械和电学特性。

　　- 电容式压力变送器的精度一般较高，但相对于扩散硅压力变送器，可能会有较大的误差范围（如0.5%）。这是因为电容式压力变送器在制造过程中受到环境和温度等因素的影响较多。

　　- 扩散硅压力变送器的响应时间较快，可以达到极短的时间范围（如毫秒级）。这是因为扩散硅压力变送器的硅芯片可以通过优化设计，使其具有更高的灵敏度和响应能力。

　　- 电容式压力变送器的响应时间一般较长，一般在几毫秒到几十毫秒之间。这是因为电容式压力变送器的电容变化相对较小，需要经过一系列的放大和处理才能转化为较大的电信号输出。

　　- 扩散硅压力变送器在较宽的温度范围内具有较好的稳定性，可以适应较高的温度，并且温度对其性能影响较小。

　　- 电容式压力变送器在温度变化时可能会出现一定的漂移，需要进行温度补偿或采用温度稳定性较好的材料来减少温度影响。

　　- 扩散硅压力变送器广泛应用于各种工业领域，如自动化控制系统、石油化工、制药、食品加工等。特别适用于对精度要求较高的场合。

　　- 电容式压力变送器适用于一些较为简单的应用，如家用电器、汽车、医疗设备等。

　　总结起来，扩散硅压力变送器和电容式压力变送器在工作原理、精度、响应时间、温度影响和应用领域等方面存在一定的差异。根据具体的应用需求和预算考虑，可以选择适合的压力变送器。

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